OXC אַפּלאַקיישאַן פעלד די אָפּטיש קרייַז-ינטערקאַנעקט באַשטימען (OXC) איז אַ מאַטריץ אָפּטיש באַשטימען פֿאַר N × N פּאָרץ, וואָס קענען ווערן גענוצט צו בויען CDC Roadm (בלאַס, קיין דירעקטיאָנאַליטי, קיין קאַמפּעטיטיוו ריוזאַבאַל ליכט / אַראָפּ מולטיפּלעקסער), אַזאַ ווי פיגורע 1 ווייזט.
פיגורע קסנומקס. CDC ROADM סטרוקטור באזירט אויף WSS און OXC OXC קאַנסטראַקטאַד באזירט אויף 1 × N פּאָרט אָפּטיש באַשטימען OXC קענען זיין קאַנסטראַקטאַד דורך אַ אָפּטיש באַשטימען פון 1 × N פּאָרט, ווי געוויזן אין FIG. 2, אין סדר צו בויען אַן אָקסק מאָדולע פון די N × N פּאָרט, אַ ליכט באַשטימען פֿאַר 1 × N פּאָרט איז פארלאנגט, און די פּאָרט נומער N ינקריסיז, OXC די גרייס און פּרייַז פון די מאָדולע ינקריסיז שארף, אַזוי די נומער פון פּאָרץ. פון דעם OXC איז יוזשאַוואַלי לימיטעד צו 32 × 32 פּאָרץ.
פיגורע קסנומקס. קאַנסטראַקטינג 8 × 8 פּאָרט OXC אין 16 1 × 8 פּאָרט ליכט סוויטשיז OXC באזירט אויף 2D MEMS טעכנאָלאָגיע די רגע טעכניש לייזונג פֿאַר דערגרייכן OXC איז באזירט אויף די קראָס-באַר אָפּטיש באַשטימען אין MEMS מיקראָסקאָפּ מענגע, H. טאָשיאָשי און ה. Fujita, טאָקיאָ אוניווערסיטעט, יאַפּאַן געמאלדן דער ערשטער MEMS טעכנאָלאָגיע, מיט פּאָרט פאַרלענגערונג פּאָטענציעל. -BAR אָפּטיש באַשטימען, ווי געוויזן אין פיגורע 3. די רעפּאָרטעד מיטל האט בלויז צוויי אַרייַנשרייַב פּאָרץ און 2 רעזולטאַט פּאָרץ. די אָפּטיש וועג באַשטימען איז ימפּלאַמענאַד דורך פיר מעמס מיקראָמיריעס, יעדער מיקראָסקאָפּ האט צוויי שטאַטן און איז געשטעלט אויף די סאַבסטרייט צו פאָרן (אַוועק סטאַטוס) אָדער עס איז גלייַך איבער די סאַבסטרייט צו פאַרטראַכטנ די שטראַל (ON שטאַט).
פיגורע קסנומקס. CROSS-BAR מאַטריץ אָפּטיש באַשטימען באזירט אויף מעמס קניראָסקאָפּי די SEM פאָטאָ פון די MEMS שפּאָן און אַ איין מיקראָסקאָפּ, און די סטרוקטור פון די טוויסטיד שפּיגל, ווי געוויזן אין פיגורע 4. דער מיקראָסקאָפּ איז געשטיצט דורך אַ פּאָליסיליקאָן שטראַל. ווען די ילעקטראָוד טוט נישט לייגן אַ פאָרורטייל וואָולטידזש, די מיקראָמירראָר בלייבט אין אַ שטאַט; ווען מאַכט איז געווענדט, די מיקראָמירראָר איז ווערטיקלי בייַ די סאַבסטרייט אונטער די דרייווינג פון ילעקטראָוסטאַטיק ערלעכקייט.
פיגורע קסנומקס. סכעמאַטיש דיאַגראַמע פון SEM פאָטאָס און סטראַקטשערז פֿאַר MEMS קנירקס AT & T Laboratory et al. רעפּאָרטעד דער ערשטער 2D מעמס-באזירט מאַטריץ אָפּטיש באַשטימען אין 1998, ווי געוויזן אין פיגורע 5, אין סדר צו דערגרייכן N × N פּאָרט אָפּטיש באַשטימען, אַ N × N-וואָג מיקראָסקאָפּ מענגע איז פארלאנגט. אַלע אָפּטיש פּאַטס פון די מיטל זענען אין איין פלאַך, וואָס איז וואָס עס איז גערופֿן 2D MEMS אָפּטיש באַשטימען.
פיגורע קסנומקס. ערשטער 2D MEMS מאַטריץ אָפּטיש באַשטימען סטרוקטור די סוויטשינג פון די אָפּטיש דרך איז אַטשיווד דורך די מיקראָסקאָפּ געוויזן אין Fig. 6, די מיקראָמירראָר איז אַטאַטשט צו די סאַבסטרייט, איין סוף פון די צוויי טילט ראַדז, און די אנדערע סוף פֿאַרבינדונג איינער אָפּזאָגן סטאַנציע, די אָפּזאָגן סטאַנציע איז מיקראָקאָמפּאָסעד דורך איין סקרייפּער מאָטאָר שאָפער, ציען די מיקראָסקאָפּ פאָרויס. די מיקראָסקאָפּ איז דעפלעקטעד בעשאַס די פּולד פּראָצעס.
פיגורע קסנומקס. סכעמאַטיש דיאַגראַמע פון מיקראָסקאָפּ סטרוקטור אָמם לי פאַן עט על. רעפּאָרטעד אן אנדער מעמס מיקראָסקאָפּ מענגע פֿאַר מאַטריץ סוויטשיז אין 2002, ווי געוויזן אין פיגורע 7.
פיגורע קסנומקס. אָם פירמע לי פאַן עט על. 2D MEMS מיקראָסקאָפּ מענגע די מאַטריץ אָפּטיש באַשטימען באזירט אויף 2D MEMS מיקראָסקאָפּ מענגע האט די אַדוואַנטידזשיז פון פּשוט סטרוקטור און גרינג פּעקל, אָבער די יקספּאַנשאַן איז לימיטעד. ווי קענען זיין געזען פון פיגורע 5, די שייכות צווישן פאַרשידענע פּאָרט פֿאַרבינדונגען, די אָפּטיש דרך לענג איז זייער אַנדערש, וואָס וועט פאָרשטעלן קאַפּלינג לאָססעס און ווירקן אָנווער פון אָנווער. די טאָלעראַנץ צו די אָפּטיש וועג חילוק דעפּענדס אויף די שטראַל גרייס אין די פריי ספּיישאַל אָפּטיש סטרוקטור. לויט דער פאָרמולע (1), וואָס קלענערער די אָרט ω0 איז, די מער דיווערדזש עס, און די גלייַך ווייַטקייט איז באקומען, די קירצער דיסטאַנסע איז באקומען.
ווי געוויזן אין פיגורע. 8 (אַ), די צוויי איין-מאָדע פיברע סמף איז געוויזן אין פיגורע. 8 (אַ), ווי די ספּייסינג צווישן די סוף סערפאַסיז ינקריסיז, די קאַפּלינג אָנווער איז געוואקסן, און די ספּייסינג צווישן די צוויי איין-מאָדע פייבערז איז בכלל לימיטעד צו "20 μם." . אין סדר צו פאַרגרעסערן די פיברע ספּייסינג צו לאָזן אַ פאַרשיידנקייַט פון פריי פּלאַץ אָפּטיש עלעמענטן, אַ טערמאַל דיפיוזינג האַרץ (TEC) פיברע אָדער אָביעקטיוו פיברע איז יוזשאַוואַלי געוויינט, ריספּעקטיוולי, ריספּעקטיוולי, ווי געוויזן אין פיגס. 8 (ב) און 8 (C), ריספּעקטיוולי. ביידע טעק פייבערז און אָביעקטיוו פייבערז קענען יקספּאַנד די אָרט גרייס צו אַדאַפּט צו פריי פּלאַץ ליכט טראַנסמיסיע. די ספּייסינג צווישן די צוויי טעק פייבערז קענען דערגרייכן ~ 10 מם, און די ספּייסינג צווישן די צוויי אָביעקטיוו פייבערז קענען זיין ריטשט ~ 50 מם. פֿאַר עטלעכע אַפּלאַקיישאַנז וואָס דאַרפן מער פריי פּלאַץ אָפּטיש פּאַטס (אַזאַ ווי די 3D MEMS אָפּטיש באַשטימען צו זיין דערמאנט אונטן), אַ קאָללימאַטיאָן אָביעקטיוו איז אָפט פארלאנגט, ווי געוויזן אין פיגורע 8 (ד).
פיגורע קסנומקס. קאַפּלינג אופֿן צווישן פייבערז אַזוי מיר וויסן אַז די TEC פיברע אָדער אָביעקטיוו פיברע איז געווענדט צו די 2D MEMS אָפּטיש באַשטימען, וואָס העלפּס צו פאַרגרעסערן די לענג פון די פריי ספּיישאַל אָפּטיש דרך צו אַקאַמאַדייט מער MEMS מיקראָסקאָפּי צו דערגרייכן אַ יקספּאַנשאַן פון די אָפּטיש באַשטימען פּאָרט. אָבער, די מאַקסימום דערלויבט אָרט גרייס איז לימיטעד צו די גרייס פון דעם מיקראָסקאָפּ, און די מיקראָסקאָפּ גרייס דעפּענדס אויף די MEMS פּלאַן און פּראָצעס. דער מיקראָסקאָפּ דיאַמעטער ф "3ω0 (ω0 איז אָרט ראַדיוס) איז יוזשאַוואַלי פארלאנגט צו פאַרטראַכטנ 99% פון די אָפּטיש מאַכט. דעריבער, די מאַקסימום נומער פון פּאָרץ פון די 2D MEMS אָפּטיש באַשטימען איז יוזשאַוואַלי לימיטעד צו 32 × 32.
OXC באזירט אויף 3D MEMS טעכנאָלאָגיע אין סדר צו ווייַטער יקספּאַנד די נומער פון פּאָרץ פון OXC, 3D MEMS אָפּטיש באַשטימען איז דעוועלאָפּעד. די גרונט סטרוקטור פון 3D MEMS OXC איז געוויזן אין פיגורע 9, וואָס ינקלודז צוויי מעמס מיקראָסקאָפּ ערייז און צוויי צוויי-דימענשאַנאַל פיברע קאָללימאַטאָר ערייז, יעדער אַרייַנשרייַב פיברע קאַלימאַטאָר קאָראַספּאַנדז צו איין מיקראָסקאָפּ אין דער ערשטער מעמס שפּאָן. און יעדער פון די רעזולטאַט פיברע קאַלימייטערז קאָראַספּאַנדז צו איין מיקראָסקאָפּ אין די רגע מעמס שפּאָן, אַלע מיקראָמיריעס אויף די מעמס שפּאָן זענען צוויי-אַקס, ווי געוויזן אין FIG.
פיגורע קסנומקס. יקערדיק סטרוקטור פון 3D MEMS OXC דעוועלאָפּעד דורך NTT לאַבאָראַטאָריע פיגורע 10. סקאַנינג עלעקטראָן מיקראָסקאָפּ SEM פאָטאָ פון MEMS מיקראָסקאָפּ מענגע און בייאַקסיאַל מיקראָסקאָפּ די ליכט שטראַל פון יעדער אַרייַנשרייַב פּאָרט איז ינדיפּענדאַנטלי קאַנטראָולד דורך אַ מיקראָסקאָפּ אויף דער ערשטער MEMS שפּאָן, דירעקטינג אן אנדער מיקראָמירראָר אויף די רגע MEMS שפּאָן (ציל פּאָרט קאָראַספּאַנדינג צו רעזולטאַט) דורך בייאַקסיאַל דעפלעקטיאָן ( ציל פּאָרט קאָראַספּאַנדינג צו רעזולטאַט), רגע א מיקראָסקאָפּ אַדזשאַסטיד די ריכטונג פון די שפיגלט שטראַל דורך אַ בייאַקסיאַל דעפלעקטיאָן, פּוינטינג צו די רעזולטאַט פּאָרט. דעריבער, דער אָפּטיש סיגנאַל קענען זיין פארביטן צו קיין רעזולטאַט פּאָרט פון קיין אַרייַנשרייַב פּאָרט דורך קאָנטראָל פון צוויי MEMS טשיפּס. די 3D MEMS OXC איז רעפּאָרטעד פֿון NTT לאַבס אין אקטאבער 2003, און די פּראָוטאַטייפּ פאָטאָ איז געוויזן אין פיגורע 11.
פיגורע קסנומקס. פאָטאָ פון די 3D MEMS OXC מאָדעל דעוועלאָפּעד דורך NTT לאַבאָראַטאָריע Bell Lab Va Aksyuk עט על. רעפּאָרטעד אן אנדער 3D MEMS OXC אין אפריל 2003, וואָס פריער ווי די NTT לאַבאָראַטאָריע, דאָ צו דערמאָנען די NTT לאַבאָראַטאָריע אַרבעט, ווייַל זייַן OXC סטרוקטור איז לעפיערעך פּשוט און גרינג צו אַנאַלייז. די OXC סטרוקטור און פּראָוטאַטייפּ פאָטאָס דעוועלאָפּעד דורך Bell Laboratory זענען געוויזן אין פיגיערז 12 און 13, אַרייַנגערעכנט צוויי MEMS מיקראָסקאָפּ ערייז, צוויי צוויי-דימענשאַנאַל פיברע ערייז און אַ Fourier אָביעקטיוו, יעדער אַרייַנשרייַב - רעזולטאַט לינק אן אנדער מיקראָמירראָר אויף דער ערשטער MEMS שפּאָן און אן אנדער מיקראָגראַף אויף די רגע MEMS שפּאָן.
פיגורע קסנומקס. 3D MEMS OXC סטרוקטור דעוועלאָפּעד דורך Bell Laboratory Figure 13. 3D MEMS OXC פּראָוטאַטייפּס דעוועלאָפּעד דורך Bell Laboratory NTT Laboratory YUKO Kawajiri עט על. רעפּאָרטעד אן אנדער 3D MEMS OXC, ווי געוויזן אין FIGS. 14 און 15, אין וואָס אַ רינג קאָנקאַווע שפּיגל ריפּלייסט אַ פאָוריער אָביעקטיוו. ניצן אַ קאַנקאַווע שפּיגל ראַדוסאַז די דעפּרעסיוו אַבעריישאַן פון די ברעג פּאָרט צו רעדוצירן ינסערשאַן אָנווער.
פיגורע קסנומקס. די רגע 3D MEMS OXC סטרוקטור דעוועלאָפּעד דורך NTT לאַבאָראַטאָריע פיגורע 15. פאָטאָ פון NTT לאַבאָראַטאָריע אַנטוויקלונג 3 ד מעמס אָקסק מאָטאָר פאָטאָ דער פּרינציפּ פון די אָקסק אין פיגס. 12 און 14 איז ענלעך, קאָרעוו צו די OXC סטרוקטור אין Fig. 9, און די ליכט שטראַל גרייס אין די פריי פּלאַץ אָפּטיש דרך איז גרעסער, אַזוי די אָנווער קענען זיין רידוסט. אין דערצו, די OXC סטרוקטור אין Fig. 9 ריקווייערז די MEMS מיקראָסקאָפּ צו האָבן אַ גרעסערע דעפלעקטיאָן ווינקל, וואָס ינקריסאַז די פּלאַן שוועריקייט פון די MEMS שפּאָן.
אונדזער אנדערע פּראָדוקט:
